产品功能介绍

　　氩离子抛光系统是**个用于样品的截面制备及平面抛光的桌面型制样设备，以便样品在SEM及其它设备上进行检测分析。可利用IlionII进行抛光加工的材料种类**广泛，包括由多元素组成的试样，以及具有不同的机械硬度、尺寸和物理特性的合金、半导体材料、聚合物和矿物等。如焊缝截面，集成电路焊点，多层薄膜截面，颗粒、纤维断面，复合材料、陶瓷、金属及合金、岩石矿物及其他无机非金属等各种材料的SEM、EBSD样品。

**特点：

　　氩离子抛光系统采用两支具有低能聚集的小型潘宁离子枪，可提供快速柔和的抛光效果。低**100eV的离子束提供更柔和的抛削效果，用于样品的抛光。新型低能聚焦电极使得离子束的直径在几乎整个加速电压范围内都保持恒定。每个枪都可准确独立地将离子束对中在样品上，从而产生极**的离子抛光速率。在操作过程中，可随时改变枪的角度。通过控制气体流量可将枪电流变化范围控制在0~100mA之间。在触摸屏上通过手动或者自动方式调节气体流量使每个枪的工作电流得到zui优化。

　　集成的10英寸彩色触摸屏计算机可对Ilion II的所有操作参数进行完全控制。此界面不仅可以设定所有参数并能够监控抛光过程。所有的操作参数还可以存为配方，调用配方可获得**精度重复实验。

涡轮分子泵搭配两级隔膜泵**了超洁净环境。Gatan**的气动控制Whisperlock**能实现快速样品交换（< 1分钟），省去了换样过程中**须完全泄真空**大气的烦恼。

1. 气锁装置实现快速样品交换、始终保持洁净的**真空状态

2. 10英寸触摸屏可对系统进行完全控制与监测

3. 配方模式的控制界面，用于**键操作

4. 质量流量控制器提供精确和可重复的氩离子电流的控制

5. 枪电压范围为100V到8000V的三元（阴极、阳极与聚焦极）构造潘宁离子枪

6. 每个枪的抛光角度可调范围为-10度~10度，增量为0.1度

7. 扇形抛光角度可变且可程序化，范围从10度~90度

8. 离子枪无需零件更换，寿命超过30,000小时

9. Gatan**的样品/挡板配置，装样简单，再次抛光位置准确

10. 独特的离子束调制功能，可进行扇形抛光和平面抛光

11. 洁净的真空系统，分子泵与隔膜泵搭配

12. 操作简单，维护方便