德**diener等离子表面处理设备特点：

等离子清洗机清洗效果好，效率**，应用范围广。

对清洗样品，没有任何材质、外观尺寸等要求

等离子清洗过程中，温升很小，基本可达到常温处理。

射频功率无极连续可调。

**效的特制电极，是产生均匀等离子体的**。

特制电极和托盘结构，可充分利用真空舱体内部空间，使处理效率**化，同时也可**样品可得到全面有效的清洗。

特有的过载、短路和过热保护电路，可**射频电源的稳定和安全。

设备整体模块化设计，安装与维护极为简单。

德**diener等离子表面处理设备的应用范围：

清洗电子元件、光学器件、激光器件、镀膜基片、芯片。

清洗光学镜片、电子显微镜片等多种镜片和载片。

移除光学元件、半导体元件等表面的光阻物质。

清洗ATR元件、各种形状的人工晶体、天然晶体和宝石。

清洗半导体元件、印刷线路板。

清洗生物芯片、微流控芯片。

清洗沉积凝胶的基片。

**分子材料表面修饰。

牙科材料、人造移植物、医疗器械的消毒和杀菌。

改善粘接光学元件、光纤、生物医学材料、宇航材料等所用胶水的粘和力。

煤、石棉灰化。

Diener Tetra50-LF Plasma

主要**参数：tetra 30PC.jpg

Tetra-50-LF 标准配置

*操作界面简单方便

* 反应舱 305mm(宽)×300mm(**)×625 mm(深)

* 不锈钢反应舱体，铝合金舱门

* 40KHz 射频发生器

* **效针孔电极

* 数字计时器可自动设定操作程序

* 皮拉尼真空泵可设定重复操作，真空泵排气净化管路

* 双气体配置， 铜气体管、气体流量计、 针阀

* 可调节气体流量计

* 自动计时器控制等离子处理过程

* 功率：0-1000W连续可调

* 自动阻抗匹配

* 电极4层电极，样品托盘4层放置 （可选装**多**6层）不锈钢托盘

* 安全保护功能：防静电真空开关，安全传感舱门

* 电磁阀保护，回流油雾不能进入反应舱

* 操作：手动或全自动

* 参数控制： 处理时间、功率、气体流量、压力

* 外形 600mm(宽)×1800mm(**)×800mm(深)

* 电压：380-400V/16A

* 真空泵 ：莱宝（Leybold）Type D16B（16m3/h）

选装件：旋转舱体、计算机控制系统