**参数.

型号    TF200-VIS      TF200-EXR     TF200-DUV         TF200-XNIR

波长范围 380-1050nm   380-1700nm    190-1100nm         900-1700nm             

厚度范围 50nm-40um    50nm-300um       1um-30mm         10um-3mm

准确度1   2nm          2nm            1nm              10nm

精度      0.2nm        0.2nm          0.2nm               3nm

入射角    90°          90°           90°             90°

样品材料  透明或半透明  透明或半透明   透明或半透明     透明或半透明

测量模式  反射/透射     反射/透射       反射/透射       反射/透射

光斑尺寸2  2mm          2mm              2mm            2mm

是否能在线  是           是                 是          是

扫描选择   XY可选      XY可选            XY可选         XY可选