白光干涉仪概述

Rtec 白光干涉仪在加利福尼亚硅谷制造。已被多个知名实验室、大学和行业使用。UP系列在**个头上组合了4种成像模式。能够在同**测试平台上运行多种测试，只需单击按钮，就能转换成像模式。这种组合可以轻松地对任何表面进行成像如透明、平坦、黑暗、扁平、弯曲的表面等。每种成像模式都具有各自的优势，并且各项**彼此互补。该项整合**不仅有利于数据的综合分析，也可以减少维护成本，从而提**效率。

3D光学轮廓仪组合

l白光干涉仪

l旋转盘共聚焦显微镜 

l暗视野显微镜

l明视野显微镜 

主要平台规格

        产品规格

l标准电动平台150x150mm（可选210x310mm）

l标准转塔，电动转塔可选

l垂直范围可达100mm

l倾斜阶段6度

lXY平台分辨率0.1um

l自动拼接楷模

lSigma头 - 仅限白光干涉仪

lLambda头 - 白光干涉仪+共焦+暗场+明场

    应用

      ●粗糙度  ●体积磨损   ●台阶**度   ●薄膜厚度   ●形貌