核心参数

溅射气体： 氩气，氮气等多种气体

样品台尺寸: 50mm

控制方式: 手动

样品仓尺寸直径: 150mm，**120mm

靶材尺寸: 50*0.1

靶材材质： 金（标配），银，铂等

SD-3000型离子溅射仪外观亮丽做工精致，旋钮式定时器档位清晰，手感舒适；

       特殊定制的真空指示和电流指示表头沉稳大；

       前面板上的微泄漏气阀门可以连接多种气体；

       调节溅射电流大小，成膜速度快，质量好；

       **压输出可使成膜更加牢固快速。

       功能控制和定时皆由CPU调度，使用范围广。

       工作时结合内部自动控制电路很容易控制真空室压强、电离电流及选择所需的电离气体，获得**镀膜效果。

       配有**位定性的飞跃真空泵。

      SD-3000型是**款针对做电极研究和半导体研究的仪器，相对于基础型溅射仪，SD-3000型的镀层和样品之间更贴合，更有附着力，以便后续的研究。

需要镀膜的样品

1、电子束敏感的样品:

主要包括生物样品，塑料样品等。S EM中的电子束具有较**能量，在与样品的相互作用过程中，它以热的形式将部分能量传递给样品。如果样品是对电子束敏感的材料，那这种相互作用会破坏部分甚**整个样品结构。这种情况下，用**种非电子束敏感材料制备的表面镀层就可以起到保护层的作用，防止此类损伤；

2、非导电的样品:

由于样品不导电，其表  面带有“电子陷阱”，  这种表面上的电子积累  被称为“充电”。为了  消除荷电效应，可在样  品表面镀**层金属导电  层，镀层作为**个导电  通道，将充电电子从材  料表面转移走，消除荷  电效应。在扫描电镜成  像时，溅射材料增加信  噪比，从而获得更好的成像质量。

3、新材料:非导电材料和半导体材料

参数：

?主机规格：340mm×390mm×300mm（W×D×H）

?靶（上部电极）：金：50mm×0.1mm（D×H）

?靶材：Au（标配）

?样品室：硼硅酸盐玻璃160mm×120mm（D×H）

?靶材尺寸：Ф50mm    

?真空指示表： **真空度：≤ 4X10-2   mbar

?离子电流表： **电流：50mA

?定时器：     **长时间：1-360s

?微型真空气阀：可连接φ3mm软管

?可通入气体： 多种

?**电压：  -2800  DCV

?机械泵：标准配置2L/S（**产VRD-8）

特点：

1、简单、经济、可靠、外观精美。

2、可调节溅射电流和真空室压强以控制镀膜的速率和颗粒的大小。

3、SETPLASMA手动启动按钮可预先设置好压强和溅射电流避免对膜造成不**要的损伤。

4、真空保护可避免真空过低造成设备短路。

5、同时可以通过更换不同的靶材（金、铂、铱、银、铜等），以达到更细颗粒的涂层。

6、通过通入不同的惰性气体以达到更纯净的涂层。

7、涂层牢固，特别适用于非导体材料实验电极制作和半导体材料的研究。