特点：

4”圆晶MEMS释放后的超临界点干燥仪；

通过微处理控制器来**自动处理过程的进行及结果的可重复性；

所有内表面均适用于液态二氧化碳、**纯乙醇和丙酮；

可重复设定的操作参数确保了结果的可重复性；

集成自动控温；

内置圆盘裂片**安全；

可以**次干燥5片直径为4”的圆晶，更换样品架，也可以**次干燥5片直径3”、2”的圆晶或5片边长为10mm的方晶（提供HF兼容的样品架）；

静态压力控制模块，自动控制系统压力和保持压力稳定性；

0.4μm内部过滤器系统输送清洁的过滤后的LCO2到样品室；

内腔有照明灯，样品室盖子带观察窗，便于观察样品室内部状态；

拥有**效隔热的冷却系统，使系统能够迅速从室温降到将近0°C；

每个操作模式LED显示，**目了然;

洁净室和防静电兼容设计；

标配SOTERTM冷凝器，分离废弃乙醇和废气二氧化碳。

样品室填块可以调整样品室内径到3”,2”,1.25”,使LCO2的使用效率和处理时间达到**化;

所有电气部件符合UL、CE和U.S.Military标准；