特点：

方晶和1”圆晶MEMS释放后的超临界点干燥仪；

通过微处理控制器来**自动处理过程的进行及结果的可重复性；

电磁阀门以及密封适用于LCO2、乙醇及丙酮；

内表面适用于液态二氧化碳、**纯乙醇和丙酮；

可重复设定操作参数确保了结果的可重复性；

每次运行可以处理5×10mm的方晶或5×1”的圆晶，（提供可以兼容HF的样品架，方便处理样品）；

集成自动控温；

内置圆盘裂片**安全；

每个操作模式LED显示，**目了然；

洁净室和防静电兼容设计；

先进的固态电子系统；

**效隔热冷却系统：在90秒内可以把样品室从室温冷却到操作所需温度；

静态压力控制模块，自动控制系统压力和保持压力稳定性；

0.4μm内部过滤器系统输送清洁的过滤后的LCO2到样品室；

内腔有照明灯，样品室盖子带观察窗，便于观察样品室内部状态；

微型计量阀门带游标卡尺，可实现重复设定及控制流速;

标配SOTERTM冷凝器，分离废弃乙醇和废气二氧化碳。

所有电气部件符合UL、CE和U.S.Military标准；