Nanonex纳米压印系统NX-2500

产品特点：

1、 热塑化

2、 紫外固化

3、 热压与紫外压印同时进行

4、 热固化

5、气垫软压**(ACP)

6、Nanonex****

7、 **的整片基板纳米压印 均匀性

8、**通量

9、低于10nm分辨率

10、亚1微米对准精度

11、快速工艺循环时间（小于60秒） 灵活性

12、4″, 6″, or 8″压印面积可选择各种尺寸及不规则形状模板与基板均可压印

13、方便用户操作

14、基于超过12年、15代产品开发经验的自动化压印操作，Nanonex压印系统经过大量实时实地验证，质量可靠，性能优越稳定

15、全自动纳米压印

规格参数：

1、热塑压印模块

      温度范围0～250oC

      加热速度>300oC/分钟

      制冷速度>150oC/分钟

      压力范围0 ～ 3.8 MPa（550 psi）

2、紫外固化模块

      200W窄带紫外光源

      365纳米或395纳米波长可选

      全自动化控制

3、对准模块

     <1μm 3σ对准准确率

     X, Y, Z, Theta平台

    分场光学和CCD相机

4、模版装载功能

     4″/5″/6″模版可用于标配纳米压印

5、系统

     8”模板可升级

6、基板装载

     标配纳米压印系统可装载4″基板

     6″和8″基板可选

     各种尺寸及不规则形状模板及基

7、板均可压印

     独特**保护ACP**可限

8、度保护基板和模板，特别对于象磷化铟（InP）等极易碎模板和 基板给予限度保护。