Diener等离子表面处理设备 德**原装进口

德**Diener是专门生产经济、可靠的等离子清洗和等离子刻蚀设备的公司, 是**上材料处理低温等离子体设备的市场和****者。Diener采用先进的集成化**开发生产射频频率为40KHz 、80KHz、13.56MHz，以及代表等离子应用zuixianjin**的2.45GHz的等离子清洗机。

目前设备广泛应用于：等离子清洗、刻蚀、灰化、涂镀和表面处理。产品主要分布在真空电子、LED、太阳能光伏、集成电路、生命科学、半导体科研、半导体封装、芯片制造、MEMS器件等**域。其设备生产零件均选用其零件行业的zuiyou质产品，以**性能**稳定。

德**diener等离子表面处理设备特点：

等离子清洗机清洗效果好，效率**，应用范围广。

对清洗样品，没有任何材质、外观尺寸等要求

等离子清洗过程中，温升很小，基本可达到常温处理。

射频功率无极连续可调。

**效的特制电极，是产生均匀等离子体的**。

特制电极和托盘结构，可充分利用真空舱体内部空间，使处理效率**化，同时也可**样品可得到全面有效的清洗。

特有的过载、短路和过热保护电路，可**射频电源的稳定和安全。

设备整体模块化设计，安装与维护极为简单。

德**diener等离子表面处理设备的应用范围：

清洗电子元件、光学器件、激光器件、镀膜基片、芯片。

清洗光学镜片、电子显微镜片等多种镜片和载片。

移除光学元件、半导体元件等表面的光阻物质。

清洗ATR元件、各种形状的人工晶体、天然晶体和宝石。

清洗半导体元件、印刷线路板。

清洗生物芯片、微流控芯片。

清洗沉积凝胶的基片。

**分子材料表面修饰。

牙科材料、人造移植物、医疗器械的消毒和杀菌。

改善粘接光学元件、光纤、生物医学材料、宇航材料等所用胶水的粘和力。

煤、石棉灰化。

Diener Tetra30 Plasma

主要**参数：

1.*便捷的PC触摸屏控制，操作系统为Windows CE5.0(ARM)

2.*根据工艺要求不同，可设定功率、压强、气体流量与时间等参数

3.双路工作气体，气体流量通过数字式流量计（MFC）控制

4.*反应舱为不锈钢，宽305mm ×深625 mm×**300 mm，容积约为50L

5.**周波电流频率13.56MHz,功率0~300W

6.反射波自动调节，无须手工调节

7.电极材质为铝/不锈钢

8.运行模式为手动/自动

9.*可存储多套工艺程序，图表实时显示工艺过程

10.真空泵的排气能力为16m3/Hour，配有强制进气阀

11.*配有压力传感器，可根据工艺要求设定压力值

12.电源电压：400V /16A