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核心参数
溅射气体Ar,N2或O2样品台尺寸50mm控制方式手动样品仓尺寸直径250mm***150mm靶材尺寸50mm靶材材质Au,Ag,Cu,Ti,Cr,Pt,Pd,C,W靶等仪器种类**产离子溅射仪