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021-64967050
仪器简介：
本仪器主要适用于扫描电子显微镜样品镀膜导电膜(金膜),仪器操作简单方便,
是配合中小型扫描电子显微镜制样**备的仪器。
**参数：
1.靶（上部电极）：材料：金，直径：50mm，厚度：0.1mm 纯度：99.999%
2、真空室：直径：160mm，**：110mm
3.样品台（下部电极）：溅射面积：直径：50mm
4．工作真空： 2×10-1—10-1 mbar
5.离子电流表：**电流：50mA
6.计时器：根据溅射习惯设定单次溅射时间。
7.**电压：-1600DVC
8.机械泵:2升/每秒
9.工作室工作媒介气体：空气或氩气，
10．真空气阀： 配有氩气专用进气口和微量充气调节，可连接φ4*2.5mm软管。
主要特点：
轻便、溅射面积大
靶材可按用户要求加工制作
