108Auto是**款结构紧凑的离子溅射仪，特别适用于扫描电镜成像中非导电样品**质量镀膜。108auto离子溅射仪的样品室直径为120 mm，样品台的**度可以任意调节，同时还带有**效的直流磁控溅射头和独立的真空控制系统，能充分满足客户的多种需求。

主要特性

自动的换气与泄气功能，可以得到**致的膜厚，和zui佳的导电喷镀效果。

通过**效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程，避免样品表面受损。

操作容易快捷，可全自动或手动进行喷镀操作，控制的参数包括自动放气以及氩气换气控制。

在自动模式下，可通过两种方式进行控制镀膜过程。可通过数字显示器控制得到可重现的喷镀效果，

通过使用MTM-20**分辨膜厚控制仪（选件）在达到设定膜厚时停止喷镀过程。

可用MTM-20**分辨膜厚控制仪（选件）手动停止喷镀过程。

数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响，可得到**致的镀膜速率和zui佳的镀膜效果。

可使用多种金属靶材：Au，Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au靶为标配），靶材更换快速方便。

**参数

样品室大小 直径120mmx 120mm **(4.75 x 4.75")

靶材 Au 靶为标配，Au:Pd, Pt, Pt:Pd （选件）;大小：直径57mmx 0.1mm厚

样品台 可以装载12个SEM样品座，**度可调范围为50mm

溅射控制 微处理器控制，安全互锁，可调，zui大电流40mA，程序化数字控制

溅射头 低电压平面磁控管，靶材更换快速，环绕暗区护罩

模拟计量 真空：Atm - 0.001mbar

厚度监控

(选件) 使用MTM-20**分辨厚度控制仪（选件）自动终止溅射过程，或使用MTM-10**分辨厚度监控仪（选件）手动终止溅射过程

控制方法 自动气体换气和泄气功能，自动处理排序，带有“暂停”控制的数字定时器（0－300s），自动放气

桌上系统 真空泵可置于抗震台上，全金属集成耦合系统