主要优势功能：

自动的换气与泄气功能，可以得到**致的膜厚，和**的导电喷镀效果。

通过**效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程，避免样品表面受损。

操作容易快捷，可全自动或手动进行喷镀操作，控制的参数包括自动放气以及氩气换气控制。

在自动模式下，可通过两种方式进行控制镀膜过程。可通过数字显示器控制得到可重现的喷镀效果。

可配备MTM-10**分辨膜厚监控仪（选件）(分辨率优于0.1nm，-99.9nm到+999.9nm)

数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响，可得到**致的镀膜速率和**的镀膜效果。

可使用多种金属靶材：Au， Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd，靶材更换快速方便。

**规格：

样品仓尺寸： 120 x 120mm（**） (4.75 x 4.75")，**强度硼硅酸盐玻璃

样品台：直径63mm,可放置12个标准SEM样品座，**度可在 60mm内调节

溅镀优点：基于微处理器反馈控制，远程电流/电压感应；提供真空安全联锁装置，**180A，配有过流保护

溅射控制：微处理器控制，安全互锁，可调，**电流40mA，程序化数字控制

溅射头：低电压平面磁控管，靶材更换快速，环绕暗区护罩

模拟计量：真空 Atm - 0.01mb  电流: 0 - 200A

厚度监测器： MTM-10**精度厚度监测器(选配)

控制方式：自动气体换气和泄气功能，自动处理排序，带有“暂停”控制的数字定时器（0－300s），自动放气

电源：200-240 VAC, 50/60Hz

功率：1000VA (包括镀碳机和真空系统)

氩气： 纯度优于99.9%，压力调节0.5-0.6 bar, 6mm连接软管