规格

类型 100 AMU SPS 200 AMU SPS 300 AMU SPS

分辨率 1 amu wide @ 10% peak height 1 amu wide @ 10% peak height 1 amu wide @ 10% peak height

总压力范围¹ 5E-7 to 1E-3 Torr (6.6E-7 to 1.3E-3 mbar) 5E-7 to 1E-3 Torr (6.6E-7 to 1.3E-3 mbar) 5E-7 to 1E-3 Torr (6.6E-7 to 1.3E-3 mbar)

总压力精度² ±25% 1E-6 to 1E-3 Torr (1.3E-6 to 1.3E-3 mbar) ±25% 1E-6 to 1E-3 Torr (1.3E-6 to 1.3E-3 mbar) ±25% 1E-6 to 1E-3 Torr (1.3E-6 to 1.3E-3 mbar)

**离子源工作压力³ 1E-3 Torr (1.3E-3 mbar) 1E-3 Torr (1.3E-3 mbar) 1E-3 Torr (1.3E-3 mbar)

标称工作压力⁴ 2E-4 Torr (2.6E-4 mbar) 2E-4 Torr (2.6E-4 mbar) 2E-4 Torr (2.6E-4 mbar)

系统工作压力（带孔板/劈刀） 1E-4 Torr to 1.2 atmospheres 1E-4 Torr to 1.2 atmospheres 1E-4 Torr to 1.2 atmospheres

灵敏度（@ 低发射、FC 模式） >4.0E-6 amps/Torr (>3E-6 amps/mbar) >2.0E-6 amps/Torr (>1.5E-6 amps/mbar) >1.0E-6 amps/Torr (>7.6E-7 amps/mbar)

灵敏度（@ **发射、FC 模式） >2.0E-5 amps/Torr (>1.5E-5 amps/mbar) >1.0E-5 amps/Torr (>7.6E-6 amps/mbar) >5.0E-6 amps/Torr (>3.8E-6 amps/mbar)

**小可检测分压⁵ 1.0E-13 Torr (1.3E-13 mbar) 2.0E-13 Torr (2.6E-13 mbar) 4.0E-13 Torr (5.3E-13 mbar)

**数据速率 1.8 ms per point 1.8 ms per point 1.8 ms per point

丰度灵敏度⁶ <5 ppm <10 ppm <100 ppm

零冲击⁷ <2 ppm <25 ppm <200 ppm

检测限值⁸ <1 ppm <2 ppm <4 ppm

**小背景压力 <1.0E-8 Torr (<1.3E-8 mbar) <1.0E-8 Torr (<1.3E-8 mbar) <1.0E-8 Torr (<1.3E-8 mbar)

**传感器和进气温度 °C 150 150 150