**参数：

质量数范围：300，510或1000amu

分辨率：5%的谷，两个相连的等**峰。

检测器：离子计数检测器，正、负离子检测

检测限：1:10E7

质量过滤器：三级过滤四极杆（9mm杆）

主离子枪： A，氧离子或其它气体，能量到5KeV

          B，Ga离子枪，能量25KeV（选配）

空间分辨率：A：100～150um

           B: 50nm

取样深度：2个单分子层（静态）

         不受限制（动态）

主要特点：

? **灵敏度脉冲离子计数检测器，7个数量级的动态范围

? SIMS 成像，分辨率在微米以下

? 光栅控制，增强深度分析能力

? 所有能量范围内，离子行程的**小扰动，及恒定离子传输

? 差式泵3级过滤四极杆，质量数范围**1000amu

? 灵敏度** / 稳定的脉冲离子计数检测器

? Penning规和互锁装置可提供过压保护

? 通过RS232、RS485或Ethernet LAN，软件 MASsoft控制