真空系统配件氦质谱检漏

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真空系统设备是产生、改善并维持真空的装置,包括真空应用设备及真空获得设备。

真空系统设备的真空系统是核心,主要由真空获得、真空测量、真空腔体(或容器)以及控制辅助等部件(如真空阀门、管道等)。其在使用过程中如果真空度达不到或者达到真空度速度慢都会影响企业的生产效率,不仅耗能耗时,还会直接影响真空工艺条件,造成产品不合格等重大生产质量问题。究其原因是由于真空系统设备存在泄漏所致,所以真空系统设备的真空系统需要进行检漏。