500 ICP-MS电感耦合等离子体质谱是**种新型的无机元素和同位素分析**，可快速同时检测周期表上几乎所有元素。ICP-MS**在分析能力上，超过传统的无机分析**如电感耦合等离子体光谱**(ICPAES)、石墨炉原子吸收(GFAAS)和汞冷原子吸收**(CVAAS)的总和，被称为当代分析****激动人心的发展。

Agilent 7500 ICP-MS**的应用**域包括：

环境样品分析，包括自来水、地表水、地下水、海水以及各种土壤、废弃物等的分析

半导体材料分析

玻璃、陶瓷和矿冶等样品分析

地质学研究

生物食品及医药临床研究

核材料分析

石油化工样品分析

法医应用与研究

**近，与分离**联用进行环境毒理、生命科学等**域的元素价态、形态分析成为ICP-MS**应用的**个焦点。

安捷伦Agilent 7500 ICP-MS分析特性：

可快速同时检测周期表上几乎所有元素

**的检出限（低**ppq级）

分析效益/成本比**

**宽的线性动态范围—可直接检测从ppq到数**ppm浓度

谱线**简单、干扰**小，准确度和精密度好

需要样品量很低(ul**ml)，分析速度很快（1～3分钟/样品）

检测模式灵活多样

半导体工业常用材料中超痕量污染物分析

固体：Si；GaAa单晶切片；石英、碳化硅等炉材料；**纯金属电极等

液体：超纯水；HF；HNO3；HCI；H2SO4；H2O2；氨水等

气体：SiH4；TE0S；NF3；N2等

Agilent ICP-MS可直接分析有机样品。

Agilent ICP-MS的**效能、**功率屏蔽矩冷等离子体**已被用于测定**系列有机样品的ppt级痕量污染元素。

对其中**些样品，其他方法无法得到满意的结果，**功率屏蔽矩冷等离子体**是**的分析方法。

强碱性清洗剂——四甲基氢氧化氨(TMAH)等

常用有机溶剂——甲苯、二甲苯、IPA等

**基体样品——光刻胶、液晶、BPSG、PSG等挥发性极强的清洗剂——丙酮、甲醇等