470是**进的溶解臭氧测量模块，为半导 体湿法处理和许多其他工业过程设计。它能 够提供去离子水或硫酸中浓度**达150mg/L 的溶解臭氧测量。470已完成“预备清洁”， 能够满足**纯度半导体过程的需求，并且可 简单的直接拼接进任何湿法处理的环流回路 中，**支持150 SLPM的流量。 470型传感器使用双路取样传感**，达到 了**的性能，且摆脱了对参比液体测 量的需求。 通常的安装仅仅包括470传感器和特氟龙7包 裹的内部连接电缆。470传感器能够通过模 拟或数字信号向湿法处理过程控制台远程报 告测量的浓度。

**指标

测量原理 ：紫外吸收法，双路取样传感** 

紫外光源 ：低压汞灯 

测量单位 ：ppmw, mg/L 

量程 ：**达150 mg/L (150 ppmw) 

精度 ：0.5mg/L 或 1%读数 (以较大值为 

准） 

水流量 ：**达150 SLPM 

采样端口 ：1”, 3/4”, 3/8” Flaretek 连接 

**压强 ：55 PSI 

接触材料 ：特氟龙, 蓝宝石, 与半导体流程相容 

外壳 ：聚四氟乙烯特氟隆

尺寸 ：5.69” 宽 x 6.8” ** x 3.2” 长 - 垂直固定 (144 x 171 x 82 mm) 

维护 ：紫外灯每24个月替换**次 无其他预定维护 

电缆 ：特氟龙外层 

电源 ：+15 VDC 

认证 ：CE 认证 

模拟输出 ：4到20mA或0到5VDC，出厂时选择 

数字 I/O ：RS-232 或 RS485，出厂时选择 

远程校零 ：通过DB15进行远程零点校准

产品特点

现场检测

在线且全流量监测

直线通过的流型

无移动部件

无消耗品

测量范围**达150 mg/L

远程零点校准

**精度紫外吸收法

双光道采样感应**

不需求日常维护

半导体级别湿式材料

紧凑的特氟龙外壳

特氟龙7包裹的内部连接电缆