仪器介绍   

    Delta薄膜厚度测量系统利用薄膜干涉光学原理，对薄膜进行厚度测量及分析。用从深紫外到近红外可选配的宽光谱光源照射薄膜表面，探头同位接收反射光线。Delta根据反射回来的干涉光，用反复校准的算法快速反演计算出薄膜的厚度。测量范围1nm-3mm，可同时完成多层膜厚的测试。对于100nm以上的薄膜，还可以测量n和k值。

产品特点

快速、准确、无损、灵活、易用、性价比**

**参数

型号  Delta-VIS      Delta-DUV      Delta-NIR

波长范围 380-1050nm   190-1100nm    900-1700nm

厚度范围 50nm-40um    1nm-30um       10um-3mm

厚度范围 50nm-40um    1nm-30um       10um-3mm

准确度1   2nm          1nm            10nm

精度      0.2nm        0.2nm          3nm

入射角    90°          90°           90°

样品材料  透明或半透明  透明或半透明   透明或半透明

测量模式  反射/透射     反射/透射       反射/透射

光斑尺寸2  2mm          2mm              2mm

是否能在线  是           是                 是

扫描选择   XY可选      XY可选            XY可选

应用**域

半导体（SiO2/SiNx、光刻胶、MEMS，SOI等）

LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亚酰胺ITO等)

LED (SiO2、光刻胶ITO等）

触摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率测试等)

汽车(防雾层、Hard Coating DLC等）

医学（聚对二甲苯涂层球囊/导尿管壁厚药膜等）