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【**参数】
分辨率:1.0nm@30kV STEM
1.0nm @15 kV
1.8nm @1kV
放大倍数:10-1,000,000×
加速电压:调整范围:0.02-30 kV(无需减速模式实现)
探针电流: 3pA~20nA(100nA选配) 稳定性优于 0.2%/h
低真空范围: 2-133Pa (Sigma 300VP可用)
样品室: 365 mm(φ),275mm(h)
样品台:5轴优中心全自动
X=125mm
Y=125 mm
Z=50 mm
T=-10º-90º
R=360º 连续
系统控制:基于Windows 7的SmartSEM操作系统,可选鼠标、键盘、控制面板控制
存储分辨率:32k x 24k pixels
产品应用
扫描电镜(SEM)广泛地应用于金属材料(钢铁、冶金、有色、机械加工)和非金属材料(化学、化工、石油、地质矿物学、橡胶、纺织、水泥、玻璃纤维)等 检验和研究。在材料科学研究、金属材料、陶瓷材料、半导体材料、化学材料等**域进行材料的微观形貌、组织、成分分析,各种材料的形貌组织观察,材料断口分 析和失效分析,材料实时微区成分分析,元素定量、定性成分分析,快速的多元素面扫描和线扫描分布测量,晶体、晶粒的相鉴定,晶粒尺寸、形状分析,晶体、晶 粒取向测量。