【**参数】

    分辨率：3.0nm@ 30KV(SE and W)  4.0nm@ 30KV(VP with BSD) 

    加速电压：0.2—30KV 

    放大倍数：5—1000000x 

    探针电流：0.5PA-5μA

    X-射线分析工作距离：8.5mm     35度接收角

    压力范围：10—400Pa (LS15:环扫模式10-3000Pa)

    工作室：365mm(φ)×275mm(h)

    5轴优中心自动样品台：X=125mm  Y=125mm  Z=50mm  T=-10°- 90°R=360°

    较大试样**度：145mm，大试样直径：250mm

    系统控制：基于Windows 7 的SmartSEM操作系统

    存储分辨率为32,000 x 24,000 pixels

【主要特点】

    能在可变压力下操作 

    先进X射线和EBSD分析

    可移动大平台

    快抽真空

    未来的**，可升级在**压和水蒸气下成像和分析

    **亮度LaB6资源选择

    光线套选择